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        產(chǎn)品展示

        標準型精密勻膠機

        簡要描述:SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

        • 產(chǎn)品型號:SC100-SE
        • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        • 更新時間:2024-11-21
        • 訪  問  量:2117
        詳情介紹

        產(chǎn)品介紹:

        名  稱:高精密勻膠機

        型  號:SC100-SE

        原產(chǎn)地:美國,USA

        應  用:SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

        產(chǎn)品概述:

          SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
          不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng),采用與track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產(chǎn)品中的zui大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復性。

        性能參數(shù):

        l  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)

        l  旋涂程序:zui多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒

        l  轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選)

        l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

        l  馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

        l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm

        l  重復性< 1rpm

        l  工藝時間設定: 0-3,000 sec/step

        l  時間設置精度:0.1sec

        l  支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)

        l  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)

        產(chǎn)品特點:

        l  的內(nèi)部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

        l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

        l  on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。

        l  標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進行定制。

        l  采用工業(yè)級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

        l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。

        l  排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部(以利于排風效率和勻膠均一性)。

        l  透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

        產(chǎn)品外型尺寸:
               433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構

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